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第455章 浸润式光刻机技术（第1页）

一直沉默不语的林本坚突然说道：“杨总，光刻机的光源一直停滞在193纳米的波长，各大光刻机公司绞尽脑汁，也无法将波长缩短到157纳米，所以我想尝试游说光刻机厂家，另辟蹊径，转换设计理念，把传统的空气为介质的干式微影技术，改为浸润式光刻工艺……”

杨墨心头一动，几乎脱口而出道：“浸润式光刻工艺？”

林本坚连忙解释道：“杨总，浸入式光刻方案并非心血来潮，我在IBM工作期间，就着手研究过浸润式光刻工艺，我认为以目前的技术条件下，缩短波长的最佳方案就是由干式微影技术转向浸润式！”

“你这个浸润式光刻方案有没有理论支撑？”杨墨不动声色的问道。

林本坚信心十足的点点头说道：“有！把透镜和硅片之间的介质从空气换成水，由于水的折射率大约为1.4，那么波长可缩短为193纳米除以1.4，就可以一下子把波长缩短到132nm，大大超过一直攻克不了的157nm！”

“国际知名学术期刊有没有过这方面的论文？”杨墨继续问道。

“我自己发表过三篇这方面论文，不过收效甚微，没有得到光刻机厂家的重视！”林本坚有些沮丧的说道。

“那这个方案还跟其它光刻机公司提过吗？”杨墨呵呵笑道。

“杨总，不瞒您说，在来荷兰之前，我和尼康、东芝方面，就浸润式光刻方案沟通过，想让他们为世大半导体定做一台浸润式光刻机，不过对方兴趣不大……”林本坚苦笑道。

杨墨沉吟片刻之后，跟保镖说道：“小李，先靠边停车，我们休息会……”

“杨总，您是不是也觉得这事不靠谱？阿斯麦不会为我们定制浸润式光刻机？”林本坚神色瞬间黯淡下来。

杨墨微笑着说道：“林处长！您放心，只要您对浸润式光刻工艺有信心，即便阿斯麦不愿意为世大半导体定制，我也愿意为你们专门收购一家光刻机公司，来验证你们的想法！”

杨墨的话，让已近花甲之年的林本坚无比动容，有些感动的说道：“杨总，生产一台浸润式光刻机，不仅是收购一家光刻机公司，后续还要投入数以千万美元的研发费用，万一这条路走不通，会损失惨重！”

杨墨哈哈大笑道：“致远集团成立至今为止，研发失败的项目不计其数，但致远无论资金链怎么紧张，都没有延迟支付过一分钱的研发经费……”

杨墨这番话，让张汝京、蒋尚义、林本坚等人听的热血沸腾！

杨墨沉吟片刻之后突然说道：“林处长，把您这个浸润式光刻工艺，以世大半导体的名义申请专利，不管最终这个浸润式光刻工艺能不能研发成功，世大半导体都给你一笔丰厚的奖励，怎么样？”

“注册专利？还有丰厚的奖励？”林本坚有些不相信自己的耳朵，不由得看了张汝京一眼。

张汝京呵呵笑道：“林处长，杨总的话就代表公司的态度！”

就是一个简单的设计思路，白送给尼康人家都不感兴趣，林本坚马上点头答应了杨墨的提议。

“改变计划，不去费尔德霍芬了，去硅谷总部！”杨墨说道。

“去硅谷总部？总部就是个空架子……”张汝京不解的问道。

“你让世大半导体的法务和财务到硅谷总部跟我们汇合，准备从资本市场融资！”杨墨继续说道。

“融资？我们目前没有扩大产能的计划啊？”张汝京更加不解的说道。

“全资收购阿斯麦光刻机公司！”杨墨不由分说的说道。

张汝京苦笑道：“哪家公司资本公司会支持这个疯狂的想法？”

“融资的事不用你们担心，我会安排！浸润式光刻机方案暂时不要跟任何人提起，申请专利的时候，不用省钱，多设置一些专利陷阱，尽可能把所有的路都堵上……”杨墨嘱咐道。

杨墨有些模糊的记忆渐渐清晰起来，他想起来阿斯麦的浸润式光刻机技术，好像还真的是台积电一个技术人员最早提出来的……

杨墨不确定这个人到底是不是林本坚，但从他对浸润式光刻技术的理解，应该八九不离十。

这么看来，阿斯麦颠覆尼康、佳能霸主地位的新一代浸润式光刻机，大概率就是在台积电技术人员的启发下完成的！

“杨总，光刻机涉及光学设计、材料科技、电子控制系统、精密制造等多个高精尖领域，制造难度之大，超乎常人想象，制造过程中，需要高度精确的工艺控制和复杂的供应链管理，每个环节的精密度和复杂度超乎想象，我们到目前为止，只有一个没有经过验证的方案，仅凭我们自己的技术力量，恐怕很难完成！”一直沉默不语的蒋尚义突然说道。

“那依你之见呢？”杨墨饶有兴趣的问道。

“我个人觉得我们还是应该把突破方向，放在芯片制造方面，只要我们一直站在晶圆制造工艺的最前沿，在整个产业链当中，就有足够的话语权，即便是英特尔这样的芯片头部企业，想要造出最先进的芯片，也绕不开世大半导体！”蒋尚义略一沉吟之后说道。

杨墨呵呵笑道：“蒋总，你说的不错，不管处在产业链的哪一端，只要不可替代，就有足够的话语权，可是你能保证世大半导体不可替代吗？”

蒋尚义苦笑道：“这一点谁也不能保证……”

杨墨皱眉说道：“光刻机技术的更迭速度，决定了集成电路的发展！就像现在这样，整个光刻机行业，全都走进了死胡同，而157纳米制程工艺也像一座大山一般，横亘在我们面前，你甚至根本看不到突破的希望，要不了一年半载，原本比你们工艺制程落后的晶圆厂，技术跟上来之后，芯片制造领域将会掀起惨烈的价格战……”

“摩尔定律决定了光刻技术不可能一直停滞不前，总会有新的解决方案出来！”蒋尚义继续说道。

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