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丝毫不知道自己错在哪里的MOSS,只好选择了执行命令。
光刻机的组装,不同于普通电子设备,光刻机的模块众多,在组装好一个模块之后,就需要调试。
调试工作,江辰安排了李老几位资深光刻领域专家和自己一起进行。
第一遍人工调试无误后,再由MOSS负责模拟测试,如果在模拟测试中发现了问题,那问题将会返回到李老几位专家处,进行复现修复。
把问题修复好了之后,再由MOSS进行自动化模拟测试,没有问题,则进入下一个模块的调试,如果还有问题,则继续调试。
如此繁复的工作,江辰他们整整花了两个多月的时间,才将光刻机所有模块组装调试完毕。
模块调试完毕后,接下来就是最让人激动又期待的时刻了。
光刻机即将制造出第一块芯片!
在实验当天,龙国几乎所有重要人物都到了现场。
操作台前,江辰和几位老专家正忙着准备工作。
“他们在干什么?”大领导好奇地问道,目光一直锁定着操作台前的几人。
方组长忙回答:“江院士拿着的是光刻机掩膜,光刻机掩膜决定了最终在硅片上形成的图案,这是江院士事先准备好的掩膜。”
大领导欣慰地点点头,越发期待起了接下来江辰他们几人的操作。
在放好掩膜硅片后,江辰便启动了自动程序。
【光刻胶涂覆中……】
【光刻胶是一种感光性材料,在受到紫外线曝光后会发生化学反应,在硅片上形成图案。】
自动程序现在是由MOSS控制,江辰之前考虑到这次有不少领导来,就让MOSS加上了简单的解释功能。
否则,各位领导在那看着,他们在这闷头操作,领导们能看个啥?
【掩膜对准中……】
【为了确保掩膜上的图案与硅片的位置精确匹配,需要在这时校准掩膜。】
【紫外线曝光程序启动……】
【使用紫外线光源照射掩膜和涂覆了光刻胶的硅片,光刻胶在受到紫外线曝光后,会根据掩膜上的图案发生化学反应。】
【显影程序启动……】
【曝光后的硅片会浸泡显影液中,显影液会将未固化的光刻胶去除,只留下受光固化的部分。】
【清洗程序启动……】
【在显影后,硅片将会经过清洗,在清洗过程中,显影液和剩余的光刻胶残留物都将洗掉。】
【校对程序启动……】
【正在对完成光刻的硅片进行检查!】
【检查完毕!芯片已成功完成制作!】
随着MOSS的声音落下,光刻机一侧,突然伸出了一个小平台,平台上正静静躺着一个指甲盖大小的芯片!
芯片这就制作成功了吗?
不明真相的领导们站在原地,屏住呼吸,不知道现在该做些什么。
(本章完)
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