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我们这是在造euv光源,不是搞核聚变的!
就算你把仿星器设计出来了,是凭我们就能造出来的吗?!
何永看到这张图的第一眼,只觉得这太离谱了,
但多看两眼之后,他很快就发现,它虽然像仿星器,但实际上却和仿星器还是有比较大的区别。
仿星器的设计,是个完美的闭环磁场,而这个显然是个开环,结构也相对简单很多。
何永又看了看这张图的技术说明,很快就理解了康驰这套改良方案,具体的原理是什么。
在dpp-euv方案中,最大的问题,就是在电离锡的时候,会产生大量的锡碎屑,
这些碎屑温度极高,很容易腐蚀、污染电极和设备,
尤其是收集光线的反射镜,
一旦受损,收集光线的效率就会直线降低。
所以康驰就用了一个类似仿星器的磁约束原理,制造一股无形的‘风’,把这些电离过程中产生的锡碎屑,沿着设计好的磁场路线吹出去。
想法是很好,但这可能实现吗?
先不说这个强磁场能不能造出来,就算造出来了,这么强的磁场,会不会对设备的其它部件,造成干扰影响?
而且除了这个磁场清理碎屑的改良点,何永在接下来,还发现了康驰另外一个更疯狂的改良。
锡本来应该涂抹在电极上的,
但康驰直接在电极中间加了个喷嘴,把锡加热到2260度,变成气体喷出去!
原理其实和燃油发动机有点像,喷油嘴喷油,然后火花塞点火,
区别只是一个燃烧膨胀作功,一个电离发光。
这么做有个好处,就是能够解决重频放电的光源稳定性,同时很容易增大光源功率。
但这一切的前提,都是那个像仿星器的磁场设计,到底行不行。
如果这套磁场设计不行的话,锡气一喷,整个装置就毁了。
想到这里,何永立即召开了一场技术研讨会,直接在会议上公布了康驰的改良方案。
当看到康驰的方案,并听完何永的讲解后,整个会议室顿时就陷入了很长一段时间的沉默。
所有人都被这个大胆而疯狂的方案给震住了。
而何永也给了他们充足的时间,来消化这些信息。
过了足足三分钟,才终于有人开口问道:“这……能行吗?”
“我也不知道。”何永看了众人一眼,
“从理论上来说,这确实是一个方向,但具体能不能实现,得先对这个设计理论进行模拟验证……老廖,磁场这块你比较擅长,所以磁场分析就交给你了。”
被点到名的廖远点了点头:“给我两天时间。”
何永随即又把目光,放在了另一位五十多岁的老者身上:“老许,你过来先仔细研究一下设计图,看看有多少把握造能造出来。”
随后何永便把位置让了出来。
老许对着电脑,研究了大概半个多小时的图纸,最后才点头道:“应该没太大问题。”
“这虽然看着像仿星器,但实际上它的要求没这么苛刻,仿星器需要控制的是核聚变,不但对磁力要求特别大,还得不能有丝毫的偏差,但这个只需要大概控制住磁场的走向,设备精度要求低一些,体积也不算大。”
何永听完顿时就放心了,
接下来,就等设计理论模拟验证的结果了。
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